b最新網址：/b“目前，乾法刻蝕工藝主要是離子銑刻蝕、等離子刻蝕和反應離子刻蝕三種方案。”
“而這三種方案，離子銑刻蝕最為簡單，可控性也比較高，技術成熟度也很高，相關的專利其實也已經被申請的差不多了，想要彎道超車，避開西方的專利壁壘，這個方案非常的難。”
“除此之外，這個方案也有技術本身的缺點，那就是刻蝕選擇性極差，必須采用專門的刻蝕終點檢測技術，並且刻蝕速率也比較低，性比價相當低。”
“而等離子刻蝕，雖然通過選擇和控製放電氣體的成分，可以得到較好的刻蝕選擇性和較高的刻蝕速率，但是刻蝕精度卻並不高，一般隻能運用在大於4-5微米線條的工藝之中。”
“而我們實驗裡正在進行的項目，就是王總設計的反應離子刻蝕方案！”
陳淩嶽一邊介紹著，一邊帶著尹之耀等人朝著刻蝕方案項目區域而去。
聽到陳淩嶽這麼介紹，尹之耀的神情並沒有多大的變化。
論文他已經看過了，雖然有些吃驚王東來的動作迅速，直接就在自己的實驗室進行驗證，但如果隻是這樣的話，也隻能算是一般，中規中矩。
尹之耀的心裡想法，其實不僅是王東來能看出來，陳淩嶽也能看出來。
選擇合適的氣體組分，不僅可以獲得理想的刻蝕選擇性和速度，還可以使活性基團的壽命短，這就有效地抑製了因這些基團在薄膜表麵附近的擴散所能造成的側向反應，大大提高了刻蝕的各向異性特性。
並且，論文裡麵透露出來的信息，也讓尹之耀充滿了期待。
眼睛一眨不眨地看著儀器。
作為刻蝕行業沉浸幾十年的大佬，尹之耀心裡不斷地評價著這座實驗室。
按理來說，其實麵對王東來設計出來的這一份刻蝕方案，不應該這麼激動和看重。
王東來和陳淩嶽等人見到尹之耀這樣的表現，心裡也不禁對尹之耀生出了一絲欽佩。
作為沉浸這一行幾十年的老專家，在他手上其實也研發出來過不少先進的刻蝕方案。
畢竟這麼大歲數的人了，還能對技術保持這樣的心態，屬實是很不錯了。
這種刻蝕過程同時兼具物理和化學兩種作用，輝光放電在零點幾到幾十帕的低真空下進行，矽片處於陰極電位，放電時的電位大部分降落在陰極附近，大量帶電粒子受垂直於矽片表麵的電場加速，垂直入射到矽片表麵上，以較大的動量進行物理刻蝕，同時它們還與薄膜表麵發生強烈的化學反應，產生化學刻蝕作用。
因為一個很簡單的道理，技術越往後發展，所受到的掣肘也就越大，需要避開的東西也就越多。
而現在，尹之耀的麵前就有這些儀器。
因為他已經確定了，王東來的這份蝕刻方案確實是合格的，甚至是優秀。
而尹之耀則是第一時間，想要進去看看結果如何，便看向王東來準備出聲征求意見。
不得不說，在麵對這方麵的時候，尹之耀表現出來的熱愛，極為真誠和熱烈。
操作人員再三檢查無誤之後，陳淩嶽便下令開始驗證起來。
刻蝕方案已經出現過了那麼多種，後來人想要避開，所需要的知識儲備就要更多，設計也就需要更加精妙。
現代的乾法刻蝕設備包括複雜的機械、電氣和真空裝置，同時還配備有自動化的刻蝕終點檢測和控製裝置，價格昂貴，很少有實驗室會完全配備。
單單隻是一個刻蝕流程，其實並不需要耗費多長時間。
不等尹之耀說出口，王東來便點了點頭，說道：“尹總是這方麵的專家，可以檢查一下！”
等到見到實驗項目的時候，尹之耀就變得無比認真起來。
這一刻，尹之耀恨不得把自己的眼睛摘下來放到上麵去看，免得錯過任何一點關鍵信息。
但實際上並不是這樣。
王東來當時在構思方案的時候，原本是想著弄出一份離子蝕刻方案就行了，但是在【大腦超頻】的狀態下，靈感無數，便研究出了一份全新的反應離子刻蝕方案。
看了王東來的論文之後，尹之耀已經認定王東來是這方麵的天才了。
至於反應離子刻蝕的原理倒也算簡單。
在設計好之後，便發給了陳淩嶽，讓他在實驗室裡進行驗證。
足足檢測了半個小時。
而越看，尹之耀越是驚歎。
所以，很快儀器就停了下來。
經過差不多兩天的設備調校，今天便是驗證的時間了。
一路無話，很快就到了地方。
機器輕輕地嗡鳴地響了起來，頓時就見到儀器開始運動起來。
放下成品後，尹之耀的眼神無比明亮。
王東來充滿自信，絲毫不怕會出什麼問題。
“嗡！”
所以，此刻尹之耀可以說是用出了自己最大的精力來觀察，來檢查。
尹之耀也不客氣，點了點頭，立即就走了進去，開始檢查起來。
“看來銀河科技還是很舍得在這方麵投入的！”
說實話，這些儀器如果不是陳淩嶽加入銀河科技的話，恐怕還需要大半年的時間甚至更長時間才能湊齊。
反應離子刻蝕也是超大規模集成電路工藝中很有發展前景的一種刻蝕方法。
這些儀器，目前也經過人為的修理調整，用來驗證王東來的反應離子刻蝕方案。
完全不像是一個剛剛出現的設計方案，更像是運行多年的成熟方案，根本毫無挑剔之處。
完美！
隻能用這個詞來形容。
心裡給出判斷之後，尹之耀既是興奮，又是緊張起來。
興奮在於通過這份設計方案，他可以很明確地說，刻蝕裝備國產化已經沒有多大的問題了。
而緊張在於，王東來表現的能力，讓他這個中威公司的老板開始有些擔憂自家公司的發展情況了。
畢竟，他已經知道王東來的銀河科技將會在半導體行業進行發展。
有這樣的領頭羊攻堅克難，將會發生什麼樣的結果，他可是太清楚不過了。
因為當初，他也是這樣過來的。
“尹總，你覺得如何？”
王東來走過來，笑著出聲問道。
“王總，和你對比一下，我都感覺我這幾十年都白活了，後生可畏啊！”