陳春仙從事科研領域這麼多年，想想後，算是被他說服。不過老陳同誌仍然有他的考量。
“建昆呐，我不是不讚同你的想法，但是你想過兩個問題嗎。
&t;divcss=&ot;ntentadv&ot;“第一，科院包括其他單位的研究員們，他們精通的領域各不相同。比如說我們研發姨媽巾和尿不濕，主要仰仗的是材料學的研究員，如果我們致力於研究電子科技，他們還能參與進來嗎，能與我們同行嗎？
“不是每個人都有創業的勇氣的。”
陳春仙歎息一聲後，繼續說道：“第二，當前經濟形勢如此艱難，一個姨媽巾技術賣出一百萬，尿不濕技術賣出三百萬，是個企業都渴望新型技術。
“值此危難之時，我們難道不應該包羅萬象，儘快從各個領域中孵化出更多的新技術，幫助社會走出經濟泥沼嗎？”
李建昆沉默，老陳的話自然沒有錯。隻是他二人視界不同，一個主看當下，一個著眼未來。
“這樣吧。”
他思忖後，做出讓步，說道，“我同意科技大樓建成後，分出多個部門，做不同種類的研發，但有一點，核心部門必須研發電子科技，由你親自主持。”
老陳想想後，點點頭，“也好。”
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複又問道：“電子科技是一個很籠統的概念，你打算研究啥？你以前說的芯片？不是我說啊建昆，這玩意是個係統工程……”
“不。”李建昆打斷他道，“研究光刻機。”
去年和老陳長聊幾回後，他認真思考過，想靠一個研究單位，把芯片弄出來，確實有點不切實際。既然如此，芯片這個係統工程中的其他環節，他再想辦法，日後慢慢整合。中關村這個實驗室，則研究最基礎最核心的東西——光刻機。
老陳撓撓頭道：“其實研究光刻機的，周邊有兩家機構呀。”
是啊，可他們最後都會放棄。
李建昆有這個計劃後，自然打聽過。目前國內研究光刻機整機的僅有的兩家單位，全在方圓五公裡內。
這是一個很好優勢。
第一家是科院微電子所。1965年我國一款光刻機——65型接觸式光刻機。正是由他們聯合魔都電子儀器廠，一起研發出來的。
不過現在似乎不太重視了，很多年沒聽說過有成果。
第二家在清華。清華有個精密儀器係。62年在旁邊建起一個“精密光學儀器加工廠”，也被稱為“9003實驗基地”或“9003所”。
國內當下最先進的光刻機技術，全在裡頭。
1971年，他們研製出了第一台光刻機和分步重複照相機。這台光刻機與65年那款不同，它可以投入規模化生產。即世界光刻機領域劃分中的，第一代光刻機。
1980年，他們又研發出了自動對準分步投影光刻機。即第二代。
眾所周知，光刻機發展到2020年代時，共有五代。
一代和二代，從性質上講，均為接觸接近式光刻機。
第三代為掃描投影式光刻機。
第四代為進步掃描投影式光刻機，不同之處主要在於，使用了激光光源，使得芯片的製程和生產效率，大幅躍升。
第五代，即euv光刻機。
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