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第181章 安裝設備(上)(1 / 2)

第章安裝設備(上)

“吊車已經在路上了,過幾分鐘就能到。”

眾人站在無塵車間外等了幾分鐘,兩輛0噸級吊車就趕到了瑞達電子廠,而後以吊裝的方式,將集裝箱貨車上的光刻機和刻蝕機,分彆送入四個無塵車間。接下來就是漫長的設備安裝和調試,光刻機和刻蝕機,是這個世界上最精密的設備之二,可以在晶圓上完成納米級彆的精加工,如此高端的設備,對安裝環境的要求也是非常的苛刻,平整度、溫度、安裝精度缺一不可。瑞達電子廠斥巨資打造這四個電子級無塵車間,主要就是為了這兩種設備服務。

王成業院士捧著一本足有磚頭厚的英文原版安裝說明書,一邊翻看,一邊感歎道:“嘖嘖嘖,不愧是當前世界最先進的DUV光刻機,隻是安裝說明書,就有上千頁,看著就讓人頭大。”

林夢鬆也跟著附和道:“誰說不是呢,越高端的設備越是嬌貴,就拿這台光刻機來說,安裝的環境溫度高了不行,濕度大了不行,灰塵多了也不行,噪音稍稍大一些,成品率都會受到影響。”

“要說還是咱們喬同學神通廣大,最阿斯麥先進的DUV光刻機都能搞的來,有了它,衝擊n製程一點難度都沒有。”周萬達看著麵前這幾台設備,口水都要流下來了。要是他所在的北大集成電路實驗室有兩台如此先進的光刻機,怕是n製程早就攻克了。

林夢鬆撫摸著一台光刻機的外殼,說道:“小了,你的野心也太小了,n算什麼,有了這些最先進的DUV光刻機和刻蝕機,通過套刻,多次曝光等工藝,實現n芯片的製造都是可能的,隻是成品率可能沒那麼高。”

“我去,真的假的,如果真的實現了n工藝,那豈不是領先主流芯片加工技術三個節點,林博士,你不會是在吹牛吧?”

“我也覺得不可能,如果這套設備真的能實現n工藝製程,那摩爾定律豈不是要失效了。”

“我看那些期刊上說,要在芯片加工領域實現n工藝製程,必須使用光波更短的UV(極紫外)光刻機,這個DUV光刻機做不到這麼小的加工精度吧,能實現n工藝就已經很了不起了。”

眾人對林夢鬆的觀點,紛紛提出了質疑,隻有重生一世的喬瑞達知道,使用DUV光刻機是真的可以實現n的芯片加工工藝。不過實現這個工藝的難度非常非常的大,以至於全世界隻有兩個團隊做到了,一個是台積電的工程師團隊,另一個就是林夢鬆帶領的中芯國際團隊。當然那是未來若乾年之後,才會發生的事情,而且隨著喬瑞達插手,林夢鬆的命運軌跡已經改變,就算他再次帶領團隊實現了這一壯舉,也會打上瑞達科技的烙印,而不是中芯國際。

接下來的大半天時間,喬瑞達陪著安裝工程師、王院士、林博士等人,在無塵車間內,按照說明書,小心的完成了一台光刻機的安裝工作。其實按照慣例,采購這種高端設備,一般需要生產廠家派出專家或工程師,輔助客戶安裝到位,這也是售後服務的一部分。但是喬瑞達弄來的這些設備,來路不正當,自然不可能邀請阿斯麥的工程師來輔助指導安裝。好在喬瑞達在複製設備的同時,一並複製幾套這些設備的詳細安裝使用說明書,大家按圖索驥、集思廣益,也能把這些光刻機刻蝕機安裝到位,但是這個安裝過程,消耗的時間,就要長很多了。

眾人從下午一直乾到半夜點,也隻是將一台DUV光刻機安裝到位。眼看著時間太晚了,喬瑞達隻好宣布,“今天就到這裡吧,其它設備的安裝和調試工作,到明。”



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