光刻機需要工作在超高無塵環境下，剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝調試。劉焱換了一身白色防塵服，戴上防塵帽，通過風淋間進入無塵車間。
此時是上午十點左右，處於每天的早班時間，晶圓工廠的四條芯片生產線正在全力運作，數千名工人，正在生產線上，有條不紊的工作。走過生產區域，進入測試區域，以薑安平為首的幾十名研究人員，正圍在一台一人多高的設備，做最後的調試，旁邊還有幾名維創電子公司的高管站在那裡圍觀。
劉焱湊上前去，朝研發二部部長烏光輝問道：
“這台就是光刻機研發實驗室製作出的第一台光刻機嗎？什麼時候能開始光刻測試？”
聽到有人提問，陽威力、金小雅等人同時轉頭看過來，見是老板劉焱，紛紛打招呼問好，烏光輝出聲給劉焱解釋道：
“對，就是這台機器，昨天組裝完成之後，第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間，經過一天一夜的安裝調試，現在已經差不多可以開始了。”
劉焱滿意的點點頭，圍著光刻機轉了一圈，這台設備為全封閉結構，就像一個四四方方的鐵皮文件櫃，外殼噴塗成了乳白色，左右兩側，設置有矽晶圓入口和出口，靠外一側安裝著一個控製麵板和一台大屁股顯示器。
劉焱有些疑惑的問道：
“看外表，我們這台光刻機似乎和j能、n康的光刻機都不太一樣，這是對外殼進行了優化嗎？”
烏光輝搖搖頭之後說道：
“我們不光優化了外殼，同時也優化了部分內部結構。
老板你提供的資料裡不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎，薑教授他們研發一微米光刻機的時候，參考了0.5微米光刻機的內部結構，對設計圖進行了一些更改優化。
從理論上來說，這些優化對晶圓的加工速度和加工精度，應該都有所提升，實際情況如何，還需要測試過後才知道。”
薑安平等人又忙活了半個多小時，光刻機終於調試完成，將提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。陽威力通過對講機溝通，讓一位名為柏巧玲的女工，送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓。
薑安平親自動手，將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上，然後按下操作麵板上的啟動按鈕。
光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音，一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開始對矽晶圓進行加工。
見狀，劉焱出聲詢問道：
“這台光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產生的436nm-line和365nmi-line，還是248nm的kf準分子激光作為光源？”
烏光輝回答道：
“現在使用的是高壓汞燈產生的365nmi-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。（www.101novel.com）