王銘和陳蕊匆匆趕到光電所的時間已經有點晚，所長開玩笑道，“我還以為你今天不過來了呢！”
王銘嘿嘿一笑，答道，“昨天出了點事情，今天過來晚了點，實在是抱歉。”
所長擺擺手道，“跟你開玩笑呢，走，帶你去看看新家夥。”
所長帶著他們來到研究所的無塵車間，眾人換好無塵服後，進入裡麵，所長指著三台大型機器說道，“這三台就是你定製的第二代光刻機，采用你提供的雙工件加工技術，芯片生產效率比老款提高了40%左右。”
“這台光刻機可以生產0.8-0.35微米的各種製程芯片，良品率和工作效率都大幅提升。特彆是在0.35微米芯片的生產上，一代產品良品率隻要45%左右，這一代提高到了72%左右；上一代產品的一次性隻能裝載30塊原晶，改進之後提高到了50塊。”
“這一代的產品怎麼提升這麼大的？”
“還不是你提供的技術方向給了我們很大的啟發，我們在這一塊接觸式光刻機方麵本來就有比較深入的研究，接近式光刻機方麵在81年就已經有了成品，在你帶來的技術加持下，有這個成績並不奇怪。”
所長有些好奇問道，“這次一次性訂購了三台，你能賣得出這麼多芯片嗎？”
“這個你不用擔心，現在我可是好幾條產品線、好幾樣新產品蓄勢待發，就差你這邊的光刻機了！”王銘想起自己那些還停留在技術圖紙上的產品，忍不住追問，“第三代掃描投影式光刻機的研發進展怎麼樣了？”
“第三代掃描投影式光刻機我們這邊也有技術儲備，在85年的時候就已經成功研製出來，隻是後麵沒有合適的產品應用，一直被束之高閣。”所長不由有點惋惜，“現在有了你這邊的批量化生產的經驗積累和提供的技術方案，在第三代光刻機方麵的進展非常順利。”
“那多長時間能夠用上？我估計第二代光刻機用不了兩年就會被淘汰。”他解釋道，“M國那邊的第三代光刻機現在應該已經進入成熟階段，隻是因為成本的問題，一直沒有推廣開來。現在有了我這條過江猛龍，想必最遲1998年就會批量生產第三代光刻機。”
“放心，在第三代光刻機方麵，我們肯定不會拖你的後腿，最遲今年年底，就可以試製完成。”所長指著一旁安裝到一半的機器道，“這就是第三代機器了，目前的進度已經過半，加上之前的技術積累，年底完成不成問題。”
“第三代光刻機創新性的使用光學投影式進行光刻，以掃描的方式實現曝光，光源也改進為248nm的KrF激光，最小工藝推進至了180-130nm，我們有把握將最低130nm製程的良品率至少提高到60%以上！”
“也就是說最遲明年年底可以交付給我們使用？”
所長點點頭答道，“是的！準確來說，是明年上半年就可以交付。但是在第四代光刻機的進展非常緩慢，我們可能沒辦法給予你們太多的幫助。”