“嗡嗡嗡……嗡嗡嗡……”紀弘一個早飯都沒吃完,電話是一個接一個的來。
“咦,孫博?”這次不是電話,而是微信語音,紀弘也是愣了一下,孫博有什麼事兒都是直接留言的,從來沒打過語音。
他也是接下:“孫博?什麼情況?”
“你昨天給我的那些個數據是什麼?”孫博上來直接問道。
“伱沒……”紀弘正想說“你沒算出來嗎”的,結果話沒出口就被急促的孫博給打斷了:“是不是光刻機雙工件台係統?而且是雙工件台六自由度模型?”
紀弘瞬間一驚,倒不是因為孫博根據一堆數據算出了是哪兒使用的——數學模型這東西他算不出來才顯得奇怪。
紀弘驚得是他急匆匆的打微信語音的行為、現在急促的狀態以及明顯已經在不由得發顫的聲音。
“大約是。”紀弘靈感裡記錄的確實是這樣說的來著:“出什麼問題了?”
“你……”簡直不知道說什麼好,事實上,他一開始也不知道這玩意兒意味著什麼,後來楚強的行為動作讓他有所猜測。
直到今天早上八點,科學院一個院士帶著一群專家直接找他家裡來了,他才意識到事情比較大發。
“這東西很先進?”孫博張口就問出了一個很傻的問題。
“先進不先進要看怎麼去看待這個事兒。”劉院士搖了搖頭:“單從精度結果上看,確實算不上先進。
“早好幾年,水木大學和滬上微電子就成功的搭建了運動精度為0n的氣浮工件台為基礎的光刻機。那個運動控製的最高精度甚至可以達到n,比你手裡的這份數據強多了。
“但是,你知道為什麼,滬上微電子的三台n光刻機驗證機一直在驗證,還沒有辦法向晶圓廠批量交付嗎?”
“啊?”孫博懵了,“啊”了一聲,心道:這我哪兒知道這個啊,我隻會數學啊,要不要你給我一批數據,我給你們算算,興許能算出來點兒什麼,你這乾問,我上哪兒知道去。
“算了,我給你說這些乾什麼!”劉院士擺了擺手:“你隻需要知道,你這個精度數據,它怎麼也說不上先進。”
不先進你來乾什麼,孫博很想問一句,但是他沒有吱聲,知道劉院士必有下文,果不其然,他的“但是”立即就來了:
“但是,雖然數據不先進,但是理論先進,而且這個模型根本就不是先進所能解釋的了,我其實也沒完全看明白。
“但我敢保證:如果能利用起來,不說UV光刻機,至少0di這個級彆的,我們立即就能實現量產!
“這就已經能解決很多問題了,華為現在的高端製程芯片就是用這個級彆的光刻機通過重重套刻實現的——至少,產能這一塊兒不再需要擔心了!
“理論這麼先進,那為什麼我說它的數據不先進呢?是因為硬件設備太落後!”裡邊的很多數據劉院士一眼看起來就很熟悉:
“學校的教學實驗室一直用的光刻機產生的數據就這些,我用了很多年啊,雖然看起來有些變化,但那個規律,彆說些許變化,燒成灰我也認得出來!
“教學實驗室你總該知道,那裡的一台光刻機幾十萬到天了,用那玩意兒就能做到這個精度數據,這簡直逆天了!
“還有最後這一對方程,這是乾什麼的?我沒看懂!求收斂分布,這……”
劉院士正要解釋一下自己的疑惑,然而說著說著忽然頓住了:“我跟你解釋這個乾什麼,你快先告訴我,這數據哪兒來的!”
……
於是,就有了剛才孫博打給紀弘的那個語音電話……
本章完
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