曲卓入行時,正是步進式投影光刻機發展的頂峰時期。
即便後來浸潤式光刻機出來了,國內在很長時間裡,依舊以乾式機為主。
那段時間裡,國內就是個破爛王國,佳能的ex3l和5l、尼康的nsr1010g,asca在78年推出的,當時來說已經老掉牙的第一代stepper都能見到。
接觸的多了,曲卓對關聯的技術、結構和工藝什麼的了解的很詳細。
剔除掉其他工藝和流程,隻說光刻機本身,作為光源的氟化氪和氟化氬準分子激光……暫時就甭惦記,離得稍微有點遠。
眼下國內雖然可以自產高壓汞燈,但穩定性和壽命遠不達標。
450n以上的穩定光源,曲卓有“收錄”。但隻能“買”出成品,沒有生產工藝和設備,對應的光刻膠也一樣。
至於i線和g線,好像是80年後漢斯先搞出來的。
鏡頭模組……已經收錄到了紫外高透玻璃,拋光、鍍膜、校準,對於腦子裡的“係統”來說完全沒有任何難度。
關鍵還是老問題,拿不出專用的高精度銑床。彆說銑床了,小磨頭都不知道去哪“收錄”。
至於進一步提升精度的磁流變拋光、離子束拋光那些……唉~約等於讓駕校教練的去教潛水,全是知識盲區,太難為人了。
所以,依舊隻能想招給內陸成品,卻沒辦法完善產業鏈上的缺失。
尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意,問題是……想個什麼招兒呢?
對於一台光刻機來說,技術難度最高的就是光學及相關部分。其它的……雖然“素材”還欠缺很多,但隻搞出個唬人的大框,基本談不上多大的難度。
隻要讓英國佬以為,我們在技術層麵,甚至是實驗室層麵的完成度已經足夠高了。除了欠缺幾項關鍵技術和工藝,主要缺乏的不過是工業化和體係化生產的能力就行。
再加上領先的集成電路設計能力和通用型係統,砝碼絕對夠重。
綜合起來看,曲卓要實現上麵的意圖……不難,卻不能輕易的答應。
可開出什麼樣的條件,他還真沒想好。
小來小去沒意思。
要狠了,就算眼下上麵沒招,捏著鼻子答應了,過後保不齊就會想招找後賬。
甭以為位子高的人,就一定大氣。不過是更加懂得取舍和權衡罷了。
而曲卓的策略是,本職工作毫無二話,保質保量完成的同時,還會交出超出預期的答卷。
但工作範圍之外的事,就得掂量掂量拿捏拿捏了。
不掂量不拿捏,就得讓人逮著了往死裡攥……
梅宣寧氣呼呼的走了,曲卓樂嗬嗬的相送。
他知道梅老二回去後,肯定會把問題扔回給安全部門,讓那幫人自己看著辦。
這也是曲卓半步不退的原因。
畢竟今天談的內容,跟曲卓是不相乾的,跟梅宣寧也是不相乾的。
如果是梅宣寧的事,態度自然就不一樣了。能辦的話,製造點難度就給辦了。
因為,這位是真大腿,做人也比較講究,多賣點人情沒壞處。一旦後麵哪天出了什麼紕漏,能頂大用呢。
前提是,得讓梅老二知道欠下人情份量有多重。
安全部門甩出來的這檔爛事兒,就是個很好的,可以用作稱量和比對的參照物……
隻要有事忙,時間過得就飛快。
曲卓以記憶中gca的stepper為基礎,參考佳能的ex3l和尼康的nsr1010g在穩定性和經濟性方麵的部分技術,搞了台步進式光刻機的設計出來。
不知道多少次的修改和微調後,最終定稿。
隨後,將加工流程拉展,由櫃式立體布局變成線式布局。
這樣設計有很大的缺陷,增加物料成本和調試難度都是小事。